成果简介

   中科院苏州纳米技术与仿生研究所：

锑化物超晶格红外探测器主要用于红外成像，气体探测，目标识别，资源探测等领域。本项目采用工业界主流的II-V半导体制备技术金属有机物化学气相沉积MOCVD生产InAs/GaSb超晶格探测器，并建立了从器件设计-材料外延-芯片制造的成熟链条，可提供高性能中波、长波、双色的外延片和芯片。

技术优势

应用市场

制冷型红外探测(或行业)

知识产权

   世界上唯一一家采用MOCVD制备高性能锑化物超晶格的团队，在器件性能、产能、成本上都优于分子東外延MBE制备的器件。MOCVD使用的原料包括衬底和MO源完全国产化。目前拥有10多项发明专利。

拟合作模式

合作开发,技术转让,技术入股