成果简介

   中科院苏州纳米技术与仿生研究所:

   MEMS二:维扫描微镜利用微加工技术，批量制备高性能光学扫描微镜，可以实现对激光東和激光脉冲的精密扫描定位和操控。利用MEMS二维扫描微镜,以及半导体激光器的光强调制技术，可以实现全高清的微型激光投影仪，满足移动大屏显示的需求。利用MEMS二维扫描微镜结合红外激光器的调制，可以实现红外结构光的发射，满足3D相机对结构光投影的性价比的要求。利用大镜面的MEMS二维扫描微镜，可以实现固态激光雷达的小型化、低成本、和可批量生产，满足自动驾驶对激光雷达的要求。

技术优势

  激光微投影、红外激光结构光发射模组，激光雷达脉冲扫描模组。

应用市场

MEMS二维扫描微镜性能指标国际领先。

知识产权

拟合作模式

合作开发,技术转让,技术入股