成果简介

   中科院光电技术研究所：

采用显微成像镜头和白光干涉镜头，通过对照明的优化设计，实现元件表面

缺陷全方位照明；使用显微成像镜头对光学元件表面进行扫描，获得表面缺陷二

维检测信息；使用白光干涉镜头对缺陷位置进行高精度干涉检测，获得表面缺陷

三维数据；结合高速数据采集和图像处理等多种技术相融合的方式，可实现口径

100 毫米平面光学元件表面麻点、划痕的二维和三维自动检测及数字化评价。

技术优势

应用市场

知识产权

拟合作模式

合作开发,技术转让,技术入股